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パラメトリック測定パッケージ
  • 4062や4070シリーズと同等の測定機能やユーザインターフェイスを持ち、高速で大量パラメータの取得ができますので、 製造ラインでの特性測定、評価、判定を自動で行うことができます。
    高速大量パラメータの自動測定に最適で主にラインでの使用に適しています。
  • 一般的な測定アルゴリズムは標準機能として組み込まれており、プログラムソースも公開しておりますので、お客様独自のアルゴリズムの組み込みも可能です。
  • サマリ表示やマップ表示等一般的なデータ解析機能が組み込まれており、測定データをその場で解析可能です。
データサマリ画面 ウエハマップ画面
[データサマリ] [ウエハマップ]
  • データファイルはCSV形式で出力しますのでEXCEL等のWindowsアプリケーションでの解析も可能です。
標準組込アルゴリズム一覧
FET
BVDSS ドレイン・ソース間降伏電圧 [ソース・ソース間短絡]
BVDSV ドレイン・ソース間降伏電圧 [ゲート、基板電圧印加]
BVGSO ゲート・ソース間降伏電圧 [ドレイン開放]
BVGDO ゲート・ドレイン間降伏電圧 [ソース開放]
BVGDS ゲート・ドレイン間降伏電圧 [ソース・ドレイン間短絡]
IGL ゲート漏れ電流 [ソース・ドレイン短絡]
  IGL_X IGL/(Div Value)
IDL ドレイン漏れ電流 [ゲート・ソース間短絡]
  IDL_X IDL/(Div Value)
ISL ソース漏れ電流 [ゲート・ドレイン間を短絡]
  ISL_X IDL/(Div Value)
IDS ドレイン電流 [ゲート電圧印加]
  IDS_X IDS/(Div Value)
ISD ソース電流 [ゲート電圧印加]
  ISD_X ISD/(Div Value)
VTH0 しきい値電圧 [サブスレッショルド領域]
VTH1 しきい値電圧 [飽和領域]
VTH2 しきい値電圧 [飽和領域 2点測定]
VTH2m しきい値電圧 [飽和領域 n点最小二乗法測定]
VTH3 しきい値電圧 [飽和・非飽和両領域 ニュートン法]
VTH4 しきい値電圧 [飽和・非飽和両領域 5270使用 バイナリサーチ]
VTH6 しきい値電圧 [飽和・非飽和両領域 5270使用 リニアサーチ]
SO サブスレッショルドスウィング
Isub 基板電流
  Isub_X Isub/(Div Value)
Isub_max 基板電流最大値
  Vg_max ゲート電圧[基板電流最大時]
  Isub_max_X Isub_max_X/(Div Value)
Idvd_sgl ID-VD Sweep測定
  Vdrain ターゲット電流時のドレイン電圧
Idvd_mlt ID-VD Sweep測定 [GATE STEP]
Idvg_sgl ID-VG Sweep測定
  Vg ターゲット電流時のゲート電圧
  Gmmax Gm max
  Vg_Gmmax Gm max時のゲート電圧
  Vth_Gmmax Vg_Gmmaxの前後n点からId-Vg特性に対し外挿した直線とx軸との交点
Gm ID-VG Sweep測定しGm maxを算出
  Gmmax Gm max
  Vg_Gmmax Gm max時のゲート電圧
  Vth_Gmmax Vg_Gmmaxを含む前後n+1点からId-Vg特性に対し外挿した直線とx軸との交点
Idvg_mltvd ID-VG Sweep測定 [DRAIN STEP]
Idvg_sglvb ID-VG Sweep測定 [SUBSTRATE STEP]
バイポーラ
BVCBO コレクタ・ベース間降伏電圧 [エミッタ・オープン]
BVEBO エミッタ・ベース間降伏電圧 [コレクタ・オープン]
BVCEO コレクタ・エミッタ間降伏電圧 [ベース・オープン]
BVCES ベース・エミッタ間降伏電圧 [ベース・エミッタ短絡]
BVCEV コレクタ・エミッタ間降伏電圧 [ベース電圧印加]
BVCEI コレクタ・エミッタ間降伏電圧 [ベース電流印加]
BVECO エミッタ・コレクタ間降伏電圧 [ベース開放]
ICEO コレクタ・エミッタ間遮断電流 [ベース開放]
  ICEO_X ICEO/(Div Value)
ICBO コレクタ・ベース間遮断電流 [エミッタ開放]
  ICBO_X ICBO/(Div Value)
IEBO エミッタ・ベース間遮断電流 [コレクタ開放]
  IEBO_X IEBO/(Div Value)
ICES コレクタ・エミッタ間遮断電流 [ベース・エミッタ短絡]
  ICES_X ICES/(Div Value)
ICEV コレクタ・エミッタ間遮断電流 [ベース電圧印加]
  ICEV_X ICEV/(Div Value)
IBCO ベース・コレクタ間電流 [エミッタ開放]
  IBCO_X IBCO/(Div Value)
IBEO ベース・エミッタ間電流 [コレクタ開放]
  IBEO_X IBEO/(Div Value)
IECO ベース・エミッタ間電圧 [コレクタ開放]
  IECO_X IECO/(Div Value)
VBEO ベース・エミッタ間電圧 [コレクタ開放]
VBCO ベース・コレクタ間電圧 [エミッタ開放]
VCEsat コレクタ・エミッタ飽和電圧
VBEsat ベース・エミッタ飽和電圧
VECsat エミッタ・コレクタ飽和電圧
HFE 直流電流増幅率
その他
R2t_If 2端子抵抗測定 [High側電流印加]
  R2t_If_X R2t_If/(Div Value)
R2t_Vf 2端子抵抗測定 [High側電圧印加]
  R2t_Vf_X R2t_Vf/(Div Value)
R4d 4端子抵抗測定 [差動電圧測定、Vm使用]
R4t_If 4端子抵抗測定[High側電流印加、差動電圧測定]
  R4t_If_X R4t_If/(Div Value)
R4t_Vf 4端子抵抗測定 [High側電圧印加、差動電圧測定]
  R4t_Vf_X R4t_If/(Div Value)
R4f ファン・デア・ポウ4端子抵抗測定
Cap 容量測定 [4284Aまたは4294A使用]
  Gpara 容量測定時のコンダクタンス
  Cap_x Cap_x/(Div Value)
Cv_SWEEP C-V Sweep測定[4284Aまたは4294A使用]
  V1(Ctarget) ターゲット容量時の電圧1
  V2(Ctarget) ターゲット容量時の電圧2


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